:::

112年實戰議題:封裝關鍵製程-晶圓研磨設備效能人工智慧異常偵測系統建置

產業別:人工智慧應用服務產業

產業痛點:

  • 在晶圓研磨設備中,零件異常會直接影響機台的運作,可能導致設備損壞並進一步損毀晶圓產品。此問題主要來自於無法即時偵測設備中的異常情況,例如部件磨損、震動異常或過熱現象等,導致維護工作未能及時進行,增加停機風險及維修成本。此外,異常問題也會影響晶圓的製程品質,使得不良率增加,進而延誤生產計劃,影響整體產能。

導入AI效益:

  • 結合物聯網技術,系統可以即時監控設備的運作狀態,蒐集並分析大量設備運作的資料,從而提前預測出可能的故障。這樣的預測性維護有助於設備在故障發生前進行檢修和保養,避免因突發故障導致生產中斷,進一步減少因設備問題帶來的生產品質問題,以及降低維修成本、提高整體生產效率,讓企業能夠更有效地管理設備,實現穩定的生產營運。

常見AI技術:

  • 類神經網路,如:多層感知器。